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    德國PI Physik Instrumente 光學(xué)實驗位移臺

    更新時間:2025-09-12

    訪問量:2086

    廠商性質(zhì):代理商

    生產(chǎn)地址:

    簡要描述:
    德國PI Physik Instrumente 光學(xué)實驗位移臺,掃描顯微鏡,超分辨率顯微鏡,生物技術(shù),掩模/晶圓定位,樣本定位,干涉測量,計量
    品牌其他品牌價格區(qū)間面議
    產(chǎn)地類別進口產(chǎn)品種類電動
    應(yīng)用領(lǐng)域醫(yī)療衛(wèi)生,電子/電池,綜合

    德國PI Physik Instrumente 光學(xué)實驗位移臺 壓電陶瓷位移臺 P-541.XSL


    應(yīng)用領(lǐng)域:

    掃描顯微鏡

    超分辨率顯微鏡

    生物技術(shù)

    掩模/晶圓定位

    樣本定位

    干涉測量

    計量


    產(chǎn)品參數(shù):

    型號:P-541.ZSL

    主動軸:Z

    集成傳感器:應(yīng)變片傳感器

    -20120 伏時Z向上的開環(huán)行程:150微米

    θX、θY向上-20120 伏時的開環(huán)偏擺角:–毫弧度

    Z向上的閉環(huán)行程:100微米

    θX、θY向上的閉環(huán)偏擺角:-毫弧度

    Z向上的分辨率,開環(huán):0.2納米

    θX、θY向上的開環(huán)分辨率:–微弧度

    Z向上的閉環(huán)分辨率:2.5納米

    θX、θY向上的閉環(huán)分辨率:–微弧度

    Z、θX、θY向上的線性誤差:0.2%

    Z向上的重復(fù)精度:<10納米

    θX、θY向上的重復(fù)精度:–微弧度

    θX、θY向上的串?dāng)_(Z向運動):±15微弧度


    產(chǎn)品參數(shù):

    型號:P-541.TSL

    主動軸:Z,θX,θY

    集成傳感器:應(yīng)變片傳感器

    -20120 伏時Z向上的開環(huán)行程:150微米

    θX、θY向上-20120 伏時的開環(huán)偏擺角:±0.6毫弧度

    Z向上的閉環(huán)行程:100微米

    θX、θY向上的閉環(huán)偏擺角:±0.4毫弧度

    Z向上的分辨率,開環(huán):0.2納米

    θX、θY向上的開環(huán)分辨率:0.02微弧度

    Z向上的閉環(huán)分辨率:2.5納米

    θX、θY向上的閉環(huán)分辨率:0.25微弧度

    Z、θX、θY向上的線性誤差:0.2%

    Z向上的重復(fù)精度:<10納米

    θX、θY向上的重復(fù)精度:0.05微弧度

    θX、θY向上的串?dāng)_(Z向運動):±15微弧度


    德國PI Physik Instrumente 光學(xué)實驗位移臺 壓電陶瓷位移臺 P-541.XSL

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